질량 분석, 전자현미경, 표면 분석과 같은 많은 분석 application에서는 고진공 (10^-6 mbar)이 필요하고 이러한 고진공을 형성하기 위하여 터보펌프가 이용됩니다.
터보펌프는 대기압 상태에서 작동할 수 없고 보조펌프가 초기 진공과 배기를 도와주어야 합니다.
최신식 터보분자펌프 (with “molecular drag” stage)의 초기 진공을 생성하기 위해 연결하는 보조펌프로는 고진공 다이아프램 펌프를 사용합니다.
이는 청정한 초기 진공을 만들어 주어 이물질에 민감한 터보분자펌프를 보호하여 고장이 나지 않게 하고 수명을 늘리는데 결정적인 역할을 하기 때문입니다.
이러한 오일 프리 고진공 방식은 많은 곳에서 의무적으로 사용하게 되어 있습니다.

Turbo Molecular Pumping System 구성 시 고려사항

• 보조펌프(다이아프램 펌프)는 고진공 시스템이 작동할 수 있는 진공도를 가진 펌프이어야 합니다. 보조펌프의 flow rate는 단지 펌핑 다운 시간에만 영향을 미칩니다.
• 가스 부하가 있다면(가스 흡입이나 배기와 관련이 있는 작업), 보조펌프는 터보펌프의 backing pressure 를 충분히 소화할 만큼 큰 용량이어야 합니다. 따라서 최대 진공도에서도 높은 펌핑 속도를 내는 우수한 다이아프램 펌프가 필요합니다. VACUUBRAND의 모든 다이아프램 펌프는 각 펌프의 최대 진공도에서도 높은 펌핑 속도를 냅니다.

보조펌프 선택 시 고려사항

• 고진공펌프의 보조펌프로 사용될 수 있을 만큼 강한 진공이 필요함 (VARIO^® 다이아프램 펌프 추천)
• 최대 진공도에서도 높은 펌핑속도를 내야 함
• 펌프의 전원이 꺼진 후에도 역류와 진공손실이 없어야 함
• 장시간 사용하여도 내구성과 안전성이 우수하여야 함
• 응축물에 대한 강한 내구성이 있어야 함
• 터보펌프의 보조펌프로 쓰이는 만큼, 고진공에 안정적이어야 하며 유지 보수 주기가 길어야 함
• 진공상태에서도 안정적으로 재가동이 되어야 함
• 저중량의 콤팩트한 크기로 저진동, 저소음이며 소비전력이 낮아야 함

추천 모델

MZ 2D NT 4 mbar, 42 L/min • 4 mbar 다이아프램 진공펌프

MD 1 1.5 mbar, 23 L/min • 1 mbar 다이아프램 진공펌프 • 빠른 펌핑속도를 원할 경우: MD4 NT, MD12 NT • 정밀 진공 조절일 경우: VARIO 모델

MV 2 NT 0.5 mbar, 40 L/min • 0.5 mbar 다이아프램 진공펌프 • 빠른 펌핑속도를 원할 경우: MV10 NT • VARIO 타입의 최대 진공도: 0.3 mbar